EVG與DELO合作為晶圓級(jí)光學(xué)元件和納米壓印光刻技術(shù)開發(fā)材料并提升工藝能力

在 EVG 的 NILPhotonics? 解決方案支援中心，雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料，以及適用于大眾化市場(chǎng)的晶圓級(jí)光學(xué)元件。

ST. FLORIAN（奧地利）與 WINDACH （德國(guó)），2019年11月27日 —— EV 集團(tuán) (EVG) 這一全球領(lǐng)先的為微機(jī)電系統(tǒng)、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場(chǎng)提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商，今天宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商 DELO 在晶圓級(jí)光學(xué)元件 (WLO) 領(lǐng)域開展合作。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位。它們的合作將充分利用 EVG 的透鏡注塑成型與納米壓印光刻 (NIL) 加工設(shè)備與 DELO 先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料，在工業(yè)，汽車，消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場(chǎng)開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備，例如生物特征身份認(rèn)證，面部識(shí)別。

目前雙方正在 EVG 的 NILPhotonics? 解決方案支援中心 （位于 EVG 總部，奧地利 Florian）以及 DELO 在德國(guó) Windach 的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG 的 NILPhotonics 解決方案支援中心為 NIL 供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括最先進(jìn)的潔凈室與支持 NIL 制造的主要步驟的設(shè)備，例如分步重復(fù)母版，透鏡模制，以及 EVG 的 SmartNIL? 技術(shù)，晶圓鍵合與必要的測(cè)量設(shè)備。它為晶圓級(jí)光學(xué)元件開發(fā)、原型設(shè)計(jì)和制造提供了一種獨(dú)特的方法，可以方便地接觸最新研發(fā)技術(shù)與材料。

晶圓級(jí)納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高分辨率光學(xué)傳感器

供應(yīng)鏈合作推動(dòng)晶圓級(jí)光學(xué)元件應(yīng)用

要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場(chǎng)中推廣晶圓級(jí)生產(chǎn)，先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用。開發(fā)先進(jìn)的光學(xué)材料，需要充分地研究化學(xué)、機(jī)械與光學(xué)特性，以及已被證實(shí)的大規(guī)模生產(chǎn)（HVM）的可擴(kuò)展性。擁有在NIL 圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性，以及自動(dòng)化模制和脫模的專業(yè)知識(shí)，才能在已驗(yàn)證的大規(guī)模生產(chǎn)中，以最小的形狀因子達(dá)到晶圓級(jí)光學(xué)元件的最佳性能。

材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作，促成了工藝流程的研發(fā)與改善，確保晶圓級(jí)光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG 和 DELO 的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品，并增強(qiáng)雙方的專業(yè)技能，從而適應(yīng)當(dāng)前與未來市場(chǎng)的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù)，并將加快新產(chǎn)品設(shè)計(jì)與原型制造的速度，為雙方的客戶保駕護(hù)航。

“NILPhotonics 解決方案支援中心的獨(dú)特之處是：它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時(shí)間研發(fā)產(chǎn)品的需求，同時(shí)保障最高的保密性，” EV集團(tuán)的技術(shù)研發(fā)與 IP 主管Markus Wimplinger說， “通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作，例如 DELO，我們能夠進(jìn)一步提高效率，作為與工藝和設(shè)備專家們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?！?/p>

“EVG 和 DELO 分別是晶圓級(jí)光學(xué)儀器與 NIL 設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場(chǎng)領(lǐng)先企業(yè)。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗(yàn),”  DELO 的董事總經(jīng)理 Robert Saller 說道?！巴ㄟ^合作，我們將提供自己獨(dú)特的技術(shù)，將晶圓級(jí)工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中，EVG也成為我們最新產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應(yīng)用專家和頂級(jí)合作伙伴的身份為客戶服務(wù)。"

晶圓級(jí)光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案

EVG 的晶圓級(jí)光學(xué)器件解決方案為移動(dòng)式消費(fèi)電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備。主要的例子是： 3D 感應(yīng)，飛行時(shí)間，結(jié)構(gòu)光，生物特征身份認(rèn)證，面部識(shí)別, 虹膜掃描，光學(xué)指紋，頻譜檢測(cè)，環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明，光地毯，平視顯示器，車內(nèi)感應(yīng)，激光雷達(dá)，內(nèi)窺鏡照相機(jī)醫(yī)學(xué)成像，眼科設(shè)備與手術(shù)機(jī)器人。EVG 的晶圓級(jí)光學(xué)儀器解決方案得到公司的 NILPhotonics 解決方案支援中心的支持。

DELO 創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機(jī)上找到。該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求，公司對(duì)這些聚合物作出調(diào)整，使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境，在較短的生產(chǎn)周期時(shí)間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外， DELO 紫外線 LED 固化設(shè)備與點(diǎn)膠閥的可靠度十分杰出。

關(guān)于德路

德路 (DELO) 是世界領(lǐng)先的工業(yè)粘合劑制造商，總部位于德國(guó)慕尼黑附近的 Windach 。在美國(guó)、中國(guó)、新加坡及日本均設(shè)有子公司。2019財(cái)政年，公司的780名員工創(chuàng)造了1.56億歐元的銷售額。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車、消費(fèi)類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品。幾乎每一部智能手機(jī)與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO 的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等。

關(guān)于 EV Group (EVG)

EV 集團(tuán) (EVG) 是為生產(chǎn)半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS)、化合物半導(dǎo)體、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的領(lǐng)先供應(yīng)商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(shù)（NIL）與計(jì)量設(shè)備，，以及涂膠機(jī)、清洗機(jī)與檢測(cè)系統(tǒng)。EV集團(tuán)創(chuàng)辦于1980年，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持。