HWNK系列納米級(jí)精密定位工作臺(tái)以壓電陶瓷致動(dòng)器為核心驅(qū)動(dòng)元件，通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)進(jìn)行無間隙的微位移傳動(dòng)，運(yùn)動(dòng)范圍在幾十微米到幾百微米，運(yùn)動(dòng)分辨率和重復(fù)定位精度在納米級(jí)。主要應(yīng)用于精密進(jìn)給系統(tǒng)、精密位移補(bǔ)償、精微操作、MEMS技術(shù)、生物工程、細(xì)胞操作、微刻蝕、掃描隧道顯微鏡、光學(xué)調(diào)整、電化學(xué)加工等領(lǐng)域。
納米級(jí)精密定位工作臺(tái)的主要工作原理（閉環(huán)）框圖如下：
傳統(tǒng)機(jī)械式微位移技術(shù)中，由于存在著較大的間隙和機(jī)械摩擦，以致使運(yùn)動(dòng)靈敏度和定位精度都很難達(dá)到很高的要求。而柔性鉸鏈?zhǔn)轿⑽灰茩C(jī)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、無間隙、無爬行、機(jī)械諧振頻率高、抗震動(dòng)干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)則很容易實(shí)現(xiàn)高分辨率的位移。
主要特點(diǎn)：
·采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)；
·納米級(jí)位移分辨率；
·重復(fù)定位精度高；
·優(yōu)良的頻率響應(yīng)特性；
·采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu)；
·可內(nèi)置電阻應(yīng)變片式微位移傳感器，方便實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制；
·機(jī)體材料可選擇鋁合金、Invar合金等，適用于不同的應(yīng)用場合；
·采用電火花、線切割等加工工藝，以嚴(yán)格保證加工；
·從一維到六維多維度多種構(gòu)型可選，接受定制；
·采用先進(jìn)的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
選型說明：
定制說明：
由于應(yīng)用領(lǐng)域的廣泛性，用戶可以采用定制的方式以得到更有針對(duì)性的產(chǎn)品。如果產(chǎn)品樣本中未包含您所需求的產(chǎn)品類型，您可以與我們聯(lián)系并提供您詳細(xì)的技術(shù)要求，我們將為您提供更好的服務(wù)。
HWNK-1D系列（一維直驅(qū)式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿X軸方向的一維運(yùn)動(dòng)，行程從10μm至50μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
HWNK-1A系列（一維放大式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿X軸方向的一維運(yùn)動(dòng)，行程從50μm至200μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
HWNK-1Z系列（一維Z向式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿Z軸方向的一維運(yùn)動(dòng)，行程從100μm至350μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
HWNK-1S系列（一維小體積式工作臺(tái)）
該系列小體積大行程工作臺(tái)通過特殊的方法機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)小體積大行程的運(yùn)動(dòng)，最大可實(shí)現(xiàn)X方向400μm的運(yùn)動(dòng)。采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，這種無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)提供了超高的精度以及很高的快速響應(yīng)時(shí)間，快速定位響應(yīng)時(shí)間僅需要幾毫秒，適合動(dòng)態(tài)與靜態(tài)的應(yīng)用。
HWNK-1E系列（一維中空式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿X軸方向的一維運(yùn)動(dòng)，行程從50μm至200μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
HWNK-1L系列（一維L式物鏡臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿Z軸方向的一維運(yùn)動(dòng)，行程從60μm至140μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，主要應(yīng)用于掃描干涉、半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備、生物科技、共焦顯微、表面結(jié)構(gòu)分析。
HWNK-1U系列（一維U式物鏡臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿X軸方向的一維運(yùn)動(dòng)，行程從10μm至100μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，主要應(yīng)用于表面掃描與分析、AFM顯微鏡、生物科技、印刷過程光束聚焦、半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備等。
HWNK-2J系列（二維集成式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿X軸方向和Y軸方向的二維運(yùn)動(dòng)，行程從10μm至200μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
HWNK-2M系列（二維模塊式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，可將一維微動(dòng)臺(tái)通過相應(yīng)的連接板自由組合成具有沿X軸方向和Y軸方向運(yùn)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)，行程從10μm至200μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
HWNK-3J系列（三維集成式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)工作臺(tái)通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓陶瓷進(jìn)行直接驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿Z軸的升降和繞X軸及Y軸方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，并可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制。主要應(yīng)用于光學(xué)、激光掃描、通信、光束偏轉(zhuǎn)和光束偏擺。
HWNK-3M系列（三維模塊式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，可將一維微動(dòng)臺(tái)通過對(duì)應(yīng)的連接板自由組合成具有沿X軸方向、Y軸方向和Z軸方向運(yùn)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)，行程從10μm至200μm。該系列微動(dòng)臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)。
HWNK-3P系列（三維并聯(lián)式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)臺(tái)屬于3-RPS型三自由微動(dòng)并聯(lián)機(jī)器人，通過壓電陶瓷直接驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈，具有出力大、剛度高、結(jié)構(gòu)緊湊、易于小型化、無摩擦、誤差無積累等優(yōu)點(diǎn)。微動(dòng)并聯(lián)機(jī)器人的應(yīng)用主要集中在空間、隔振、醫(yī)療、光學(xué)、工業(yè)等領(lǐng)域。
HWNK-6P系列（六維并聯(lián)式工作臺(tái)）
該系列微動(dòng)臺(tái)屬于6-RPS型三自由微動(dòng)并聯(lián)機(jī)器人，通過壓電陶瓷直接驅(qū)動(dòng)柔性鉸鏈，具有出力大、剛度高、結(jié)構(gòu)緊湊、易于小型化、無摩擦、誤差無積累等優(yōu)點(diǎn)。微動(dòng)并聯(lián)機(jī)器人的應(yīng)用主要集中在空間、隔振、醫(yī)療、光學(xué)、工業(yè)等領(lǐng)域。
HWPN系列壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源
HWPN系列壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源能夠?yàn)閴弘娞沾商峁└叻€(wěn)定性、高分辨率的電壓，并且有著優(yōu)良的頻率響應(yīng)和極低的靜態(tài)紋波。有多種控制方式、多種型號(hào)和多種配置的產(chǎn)品，能夠滿足不同用戶的需求。
主要特點(diǎn)：
·輸出電壓高穩(wěn)定性；
·輸出電壓高分辨率；
·優(yōu)良的動(dòng)態(tài)頻率響應(yīng)特性；
·極低的靜態(tài)紋波；
·多種控制方式：計(jì)算機(jī)、模擬信號(hào)、鍵盤、旋鈕；
·自發(fā)典型波形：方波、正弦波、三角波；
·自定義波形存儲(chǔ)功能，可通過計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)2個(gè)自定義波形；
·過流保護(hù)功能；
·輸出電壓實(shí)時(shí)監(jiān)控；
·液晶漢字顯示及薄膜按鍵操作，提供良好的人機(jī)界面；
·提供完善的上位機(jī)軟件程序和通信協(xié)議。
控制模式:
1、手動(dòng)模式
·鍵盤輸入：通過數(shù)字鍵盤輸入所需要的電壓值。
·旋鈕調(diào)節(jié)：旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕進(jìn)行輸出電壓粗調(diào)及細(xì)調(diào)，粗調(diào)和細(xì)調(diào)步長可由用戶自行設(shè)置，能夠與鍵盤配合同時(shí)使用。
2、模擬方式
·將信號(hào)發(fā)生器或D/A轉(zhuǎn)換器等輸出的模擬信號(hào)接入壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的模擬輸入口，信號(hào)經(jīng)放大后輸出，此時(shí)驅(qū)動(dòng)電源作為放大器使用。
3、自發(fā)方式
·壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源能夠自發(fā)方波、正弦波和三角波共三種典型波形。通過設(shè)置頻率、幅值以及偏置等波形參數(shù)，即可產(chǎn)生相應(yīng)的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
4、聯(lián)機(jī)
·實(shí)時(shí)通信：通過計(jì)算機(jī)串口對(duì)電源輸出進(jìn)行控制，提供相應(yīng)控制軟件。
·自定義存儲(chǔ)：用計(jì)算機(jī)軟件給壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源發(fā)送自定義電壓數(shù)據(jù)以及相鄰兩個(gè)數(shù)據(jù)的時(shí)間間隔，存儲(chǔ)在電源中，脫機(jī)后，電源仍可按照存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)輸出，關(guān)機(jī)后存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)不會(huì)丟失。
HWPN系列壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源
HWS系列LVDT測(cè)微儀
HWS系列LVDT測(cè)微儀是適用于多種測(cè)量范圍的高精度微位移檢測(cè)儀器?？梢元?dú)立實(shí)現(xiàn)納米級(jí)微位移檢測(cè)，廣泛應(yīng)用于各種需要?jiǎng)屿o態(tài)微位移檢測(cè)的領(lǐng)域，具有性能優(yōu)越、測(cè)量精度高、價(jià)格低等與優(yōu)點(diǎn)。
